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地址： 青島市膠州市上合示范區(qū)閩江路60號
設(shè)備名稱 手動勻膠機 品牌型號 WS400BZ
設(shè)備用途
通過高速旋轉(zhuǎn)的電機帶動晶圓轉(zhuǎn)動，結(jié)合手動滴膠，將光刻膠均勻的涂覆到晶圓上。
主要技術(shù)指標(biāo)：
可用晶圓尺寸：2inch 3inch 4inch圓和≥1cm2碎片
最大轉(zhuǎn)速：8000rpm
